Перейти на главную страницу

Менюшка
Меню портала




 

Дружественные сайты

_____________________________

» » Как анизотропия кислорода мешает поверхностному окислению кремния

Как анизотропия кислорода мешает поверхностному окислению кремния

Японские учёные впервые в мире получили кислородный молекулярный пучок, позволяющий устанавливать определённую ориентацию молекулярных осей и направление спина кислорода. Используя его для окисления кремния, исследователи показали критическую важность правильной ориентации молекул кислорода для протекания реакции окисления.

В Национальном институте материаловедения (Япония) впервые получен кислородный молекулярный пучок, который позволяет устанавливать определённую ориентацию молекулярных осей и направление спина кислорода. Используя его для проведения поверхностного окисления кремния, учёные под руководством Митсунори Курахаси показали, что в окислении кремния участвуют только те кислородные молекулы, молекулярные оси которых практически параллельны его поверхности.

Молекула О2, будучи линейной, имеет анизотропную форму и обладает спином из-за двух неспаренных электронов. Однако до сих пор не существовало никаких экспериментальных методов, позволяющих изучить то, каким образом анизотропия и спин молекулы кислорода влияют на протекание соответствующих реакций окисления. И хотя первичное окисление, например кремния, было исследовано довольно детально (для процесса производства плёнок изолятора затвора), причины чрезвычайно низкой вероятности начала реакции оставались под вопросом.

С помощью технологии магнитного гексаполярного поля японским учёным удалось получить кислородный пучок с зафиксированным избранным единичным квантовым состоянием, которое позволило определить ориентацию молекулярной оси и направление спина кислорода. Используя такой пучок для обработки поверхности кремния, авторы работы установили, что окисление последнего происходит с участием только таких молекул кислорода, оси которых параллельны (или почти параллельны) плоскости поверхности кремния.

Столь жёсткое требование к пространственной ориентации молекулы кислорода, являющееся следствием её анизотропии, полностью объясняет неэффективность применяемой в промышленности реакции окисления кремния кислородом.

Дополнительные подробности о проведённом исследовании можно найти в статье, опубликованной в журнале Physical Review B.

Подготовлено по материалам Национального института материаловедения.




Отзывов 0    Просмотров  


Другие новости по теме:



Ученые НАСА нашли кислород в атмосфере спутника Сатурна
   

Физики создали компактный неорганический ультрафиолетовый светодиод
   

Найдена причина врожденного сколиоза
   

На Дионе есть кислород
   

На спутнике Сатурна обнаружен кислород
   

Учёные придумали, как вернуть старинной бумаге первоначальную белизну
   

Комментарии